Fabricación de una lente Rotman de 77 GHz en una oblea de silicio de alta resistividad utilizando el proceso de despegue

En este artículo de la revista internacional de antenas y propagación, se presenta la fabricación de una lente Rotman basada en silicio de alta resistividad con un proceso de despegue. El objetivo cuenta con 3 puertos de haz, 5 puertos de arreglos, 16 puertos ficticios y ángulos de dirección de viga de ± 10 grados. La lente fue fabricada en una oblea de silicio de alta resistividad de 200 μm de grosor y tiene un área de huella de 19,7 mm × 15,6 mm. La lente fue probada como una parte integral de un radar de 77 GHz donde se usó una fuente de banda X sintonible junto con un multiplicador de 8 veces como fuente de RF y la señal de onda milimétrica resultante centrada en 77 GHz fue irradiada a través de una combinación de lente-antena. Una antena de cuerno con un mezclador armónico downconverter se usó para recibir la señal radiada y mostrar la señal recibida en un analizador de espectro Advantest R3271A. La señal de transmisión y recepción superpuesta en el analizador de espectro mostró el funcionamiento correcto del radar confirmando el diseño de la lente Rotman.

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cita:

Ali Attaran y Sazzadur Chowdhury, "fabricación de una lente Rotman de 77 GHz en una oblea de silicio de alta resistividad utilizando el proceso de despegue," revista internacional de antenas y propagación, Vol. 2014, artículo ID 471935, 9 páginas, 2014. doi: 10.1155/2014/471935